1. Выбор материала

• Сапфир (Al₂O₃):
• Преимущества: низкая стоимость, отработанная технология, хорошая светопроницаемость.
• Недостатки: плохая теплопроводность, влияющая на теплоотдачу.
• Кремний (Si):
• Достоинства: низкая стоимость, хорошая теплопроводность, простота обработки.
• Недостатки: большое несоответствие решеток, что влияет на качество эпитаксиального слоя.
• Карбид кремния (SiC):
• Преимущества: Хорошая теплопроводность, небольшое несоответствие решетки, улучшение качества эпитаксиального слоя.
• Недостатки: высокая стоимость, сложность в обработке.

2. Структурная анатомия

• Обработка поверхности:
• Полировка: поверхность тщательно полируется для уменьшения дефектов и улучшения качества эпитаксиального слоя.
• Графика: Микроструктуры формируются посредством фотолитографии и травления для повышения эффективности светоотдачи.
• Буферный слой:
• Материал: Обычно нитрид алюминия (AlN) или нитрид галлия (GaN).
• Функция: Уменьшите несоответствие решетки между подложкой и эпитаксиальным слоем, улучшите качество кристаллов.
• Рост эпитаксиального слоя:
• Методы: Обычно использовалось химическое осаждение металлорганических соединений из паровой фазы (MOCVD).
• Процесс: на подложке последовательно выращиваются слой N-типа, квантовая яма и слой P-типа.

3. Управление температурным режимом

• Конструкция рассеивания тепла:
• Радиатор: обычно используется медь или алюминий, улучшает эффективность рассеивания тепла.
• Материалы термоинтерфейса: такие как термоклей или припой, уменьшают термическое сопротивление.
• Соответствие коэффициента теплового расширения:
• Важность: Уменьшите термическое напряжение, чтобы предотвратить растрескивание или выход стружки из строя.

4. Оптические характеристики

• Светопередача:
• Сапфир: Хорошая светопроницаемость в диапазоне UVC.
• Карбид кремния: плохая светопроницаемость, часто используется в качестве нижней подложки.
• Отражатель:
• Материал: обычно используемый алюминий или серебро.
• Функция: Отражение света, повышение эффективности светоотдачи.